亚洲亚洲城ca88_ca88亚洲城备用网址_ca888亚洲城会员登录 合肥百思新材料研究院 合肥欧莱迪光电科技有限亚洲亚洲城ca88     我要留言 欢迎点击留下您宝贵的意见 我们会在第一时间给您回复  
  • 产品名称: 双炉滑轨PECVD
PECVD(等离子化学气相沉积系统)系统,有多路质量流量计系统(进口流量计),真空机组(进口真空泵),PE射频电源(进口射频源),温控系统等装置构成。使用PE源将气源等离子化,有利于降低工艺温度,同时扩大工艺的使用条件,满足更多的工艺实验要求,如石墨烯、C纳米管等,控制操作系统集成于触摸屏操作面板上,便于操作与观察。 技术参数:
双温场滑轨炉(BTF-1200C-S-SL) 主要特点: 滑轨式快速升温炉是专为生长石墨烯研制的石墨烯生长专用炉,也同样适用于要求升降温速度比较快的CVD实验,这款ca88亚洲城备用网址是根据开启式真空ca888亚洲城会员登录炉改装而来的,操作时可将实验需要的恒定高温直接推到样品处,使样品能得到一个快速的升温速度,同样也可将高温的ca888亚洲城会员登录炉直接推离样品处,使样品直接暴露在室温环境下,得到快速的降温速率。 技术参数: 额定功率(KW):4 额定电压(V):AC 208-240V Single Phase,50/60 Hz 最高温度(℃):1200(1 hour) 持续工作温度(℃):1100 最大升& 降温速率(℃/S):≤20 炉管尺寸(mm):高纯石英管Φ50×1900(管径可选) 加热区长度(mm) :230+230 恒温区长度(mm):100+100 控温方式:模糊PID控制和自整定调节,智能化30段可编程控制具有超温和断偶报警功能 控温精度(℃):±1 认证标准: 密封系统:炉管两端配304不锈钢水冷密封法兰(包括精密针阀,指针式真空压力表,法兰进气端配置两个Φ6mm卡套进气口。 净重(Kg):80
      射频电源 500W   信号频率:13.56 MHz±0.005% 功率输出范围:L5W-500W 最大反射功率:200W 射频输出接口:50 Ω, N-type, female 功率稳定度:±0.1% 谐波分量:≤-50dbc 供电电压:单相交流(187V-253V) 频率50/60HZ 整机效率:>=70% 功率因素:>=90% 冷却方式:强制风冷
供气系统 工作电压:185~245V 50HZ 最大输出功率:18W 流量计标准量程:100sccm,200sccm,200sccm,500sccm(非特殊指定以氮气标定,量程可选) 工作温度:5~45℃ 工作压差:0.1~0.5MPa 最大压力:3MPa 准确度:±1.5% FS 测量范围:-0.1~0.15 MPa(0.01 MPa/grid) 针阀316不锈钢 混气罐Φ80×120mm 截止阀Φ6mm”316不锈钢针阀 尺寸600×600×650 mm
低真空机组VAU-02 空气相对湿度 ≤85% 工作电电压220V±10%  50~60HZ 功率500瓦 抽气速率8m³/h 极限真空4X10-2Pa 实验真空度1.0X10-1Pa 容油量 1.1L 进气口口径KF25 排气口口径KF25 转速1450rpm 噪音50dB 外型尺寸600×600×600mm